HORIBA Smart SE 橢圓偏振光譜儀

HORIBA 橢圓偏振光譜儀產(chǎn)品介紹：

HORIBA Smart SE 橢圓偏振光譜儀是一種薄膜測(cè)量工具。僅需簡(jiǎn)單的幾個(gè)按鈕，幾秒鐘內(nèi)即可自動(dòng)完成樣品測(cè)量和分析，并提供完整的薄膜特性分析報(bào)告，包括薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)、表面粗糙度和薄膜的不均勻性、反射率或透過率。它是用于快速薄膜測(cè)量和器件質(zhì)量控制的解決方案。為薄膜測(cè)量設(shè)計(jì)，一鍵式操作。

HORIBA 橢圓偏振光譜儀產(chǎn)品特點(diǎn)：

• 可在450nm~1000nm波長內(nèi)實(shí)現(xiàn)快速測(cè)量（<1秒）

• 多種光斑尺寸軟件選擇

• 自動(dòng)裝載和調(diào)整樣品高度（需自動(dòng)平臺(tái)）

• 大面積自動(dòng)成像（需自動(dòng)平臺(tái)）

• 溫控臺(tái)、液體樣品池、電化學(xué)反應(yīng)池、

• 密封氣體池、透過率曲線測(cè)量等多種附件

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：

光斑可視系統(tǒng)：HORIBA Smart SE 橢圓偏振光譜儀具備MyAutoView光斑可視系統(tǒng)，可清晰觀察光滑或粗糙的樣品表面，保證用戶可將測(cè)量光斑定位在樣品目標(biāo)上的測(cè)量位置。

智能診斷：HORIBA Smart SE 橢圓偏振光譜儀儀器維護(hù)非常簡(jiǎn)單，借助完整的操作向?qū)В詣?dòng)檢測(cè)并診斷問題，對(duì)故障進(jìn)行處理

靈活多功能選項(xiàng)：HORIBA Smart SE 橢圓偏振光譜儀的入射角度可調(diào)，且可用于在線實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，具備靈活性。

產(chǎn)品測(cè)量原理：

HORIBA Smart SE 橢偏儀是利用薄膜的光學(xué)特性進(jìn)行膜厚測(cè)量的非接觸測(cè)量方法。基于偏振光反射或透射時(shí)的狀態(tài)變化來測(cè)量薄膜的厚度和折射率。當(dāng)偏振光照射到薄膜表面時(shí)，反射光或透射光的偏振狀態(tài)會(huì)發(fā)生變化，這種變化依賴于薄膜的厚度、折射率以及入射光的偏振狀態(tài)和角度。通過分析這些變化，可以準(zhǔn)確地推導(dǎo)出薄膜的厚度。

軟件：

橢圓偏振光譜軟件DeltaPsi2功能豐富，它基于WindowsT操作系統(tǒng)，充分利用了HORIBA Scientific（JobinYvon光譜技術(shù)）橢偏儀硬件技術(shù)的特點(diǎn)，具有眾多建模和擬合處理功能，以及簡(jiǎn)單的操作界面，可為研究者提供便捷的橢偏分析手段。

• 梯度膜層

• 粗糙度或界面

• 材料組份/結(jié)晶度

• 各向異性膜層

• 薄膜厚度的不均勻性

• 退偏因子

• 與材料模型公式相關(guān)的完整的屬性數(shù)據(jù)庫

• 對(duì)于厚透明樣品基底背景光的自動(dòng)修正

• 周期變化結(jié)構(gòu)

• 用戶超薄薄膜應(yīng)用的BLMC算法

• 多重猜測(cè)、多重初值、多重模型、相關(guān)性……

常見應(yīng)用：

產(chǎn)品參數(shù)：

測(cè)量圖：