HORIBA UVISEL Plus 橢圓偏振光譜儀

HORIBA UVISEL Plus 橢圓偏振光譜儀產品介紹：

HORIBA UVISEL Plus 相位調制型橢圓偏振光譜儀基于新版的電子設備，數據處理和高速單色儀，Fastacq技術能夠為用戶提供高分辨及快速的數據采集。FastAcq為薄膜表征特殊設計，雙調制技術使您可以獲得完整的測試結果。相位調制與消色差光學設計的結合提供了特別的膜厚測試效果。配備雙單色儀系統的特殊設計滿足用戶的期望值，通過模塊化的設計，更多的附件選擇，使得儀器使用能變得靈活。可以表征各種薄膜材料,包括介電薄膜、半導體、有機物、金屬、超材料和納米材料等。

HORIBA UVISEL Plus 橢圓偏振光譜儀產品優勢：

靈敏：測量速度有明顯提升

UVISEL Plus相位調制橢偏儀提供簡單快速的偏振調制，可用于各種樣品的測量，FastAcq快速采集技術使得測試靈敏度有了提升，從而能獲得界面簿膜和納米級低襯度襯底樣品的更多信息。

靈活

UVISEL Plus相位調制橢偏儀模塊化設計，可靈活拓展，以適應您的應用及預算需求。相較于其他供應商,UVISEL Plus相位調制橢偏儀系統的可升級性能將更好的滿足您未來的應用需求(190-2100nm)，校準僅需幾分鐘。

簡單

AutoSoft軟件界面以工作流程直觀為特點，使得數據采集分析更加簡便，易于非專業人員上手操作。

快速

UVISEL Plus相位調制橢偏儀集成了FastAcq快速采集技術，可在3分鐘以內實現高分辨的樣品(190-2100nm)，校準僅需幾分鐘。

HORIBA UVISEL Plus 橢圓偏振光譜儀產品測量原理：

HORIBA UVISEL Plus 橢偏儀是利用薄膜的光學特性進行膜厚測量的非接觸測量方法。基于偏振光反射或透射時的狀態變化來測量薄膜的厚度和折射率。當偏振光照射到薄膜表面時，反射光或透射光的偏振狀態會發生變化，這種變化依賴于薄膜的厚度、折射率以及入射光的偏振狀態和角度。通過分析這些變化，可以準確地推導出薄膜的厚度。

HORIBA UVISEL Plus 橢圓偏振光譜儀軟件：

AutoSoft軟件提供一鍵式測試分析。附帶即點即用的菜單庫幫您掌控一切橢偏分析。

定制菜單

創建您自己的菜單，進行數據采集，自動mapping和薄膜結構分析，一鍵即可實現。完備的材料及模型數據庫

AutoSoft軟件提供了大量的材料模型便于您對材料及膜系進行描述與設置。

多值計算

多值計算是HORIBA的算法，可快速準確的找到符合的結果。多值計算可以應用于膜厚以及其他色散參數的計算，能夠減化繁瑣的擬合步驟。

DeltaPsi2為橢偏全部功能服務

DeltaPsi2軟件提供了從測試到建模分析，輸出報告，以及自動操作的全部功能控制，無需多個軟件間切換，使日常測試更加便捷。

HORIBA UVISEL Plus 相位調制型橢圓儀技術特點：

• 信號采集過程無移動部件

• 光路中無增加元件

• 高頻調制50kHz

• 測試全范圍的橢偏角，Ψ(0-90，?(0-360)

HORIBA UVISEL Plus 橢圓偏振光譜儀常見應用：

HORIBA UVISEL Plus 橢圓偏振光譜儀行業應用：

HORIBA UVISEL Plus 橢圓偏振光譜儀產品參數：