HORIBA UVISEL Plus 橢圓偏振光譜儀

HORIBA UVISEL Plus 橢圓偏振光譜儀產(chǎn)品介紹：

HORIBA UVISEL Plus 相位調(diào)制型橢圓偏振光譜儀基于新版的電子設(shè)備，數(shù)據(jù)處理和高速單色儀，F(xiàn)astacq技術(shù)能夠?yàn)橛脩籼峁└叻直婕翱焖俚臄?shù)據(jù)采集。FastAcq為薄膜表征特殊設(shè)計(jì)，雙調(diào)制技術(shù)使您可以獲得完整的測試結(jié)果。相位調(diào)制與消色差光學(xué)設(shè)計(jì)的結(jié)合提供了特別的膜厚測試效果。配備雙單色儀系統(tǒng)的特殊設(shè)計(jì)滿足用戶的期望值，通過模塊化的設(shè)計(jì)，更多的附件選擇，使得儀器使用能變得靈活。可以表征各種薄膜材料,包括介電薄膜、半導(dǎo)體、有機(jī)物、金屬、超材料和納米材料等。

HORIBA UVISEL Plus 橢圓偏振光譜儀產(chǎn)品優(yōu)勢：

靈敏：測量速度有明顯提升

UVISEL Plus相位調(diào)制橢偏儀提供簡單快速的偏振調(diào)制，可用于各種樣品的測量，F(xiàn)astAcq快速采集技術(shù)使得測試靈敏度有了提升，從而能獲得界面簿膜和納米級(jí)低襯度襯底樣品的更多信息。

靈活

UVISEL Plus相位調(diào)制橢偏儀模塊化設(shè)計(jì)，可靈活拓展，以適應(yīng)您的應(yīng)用及預(yù)算需求。相較于其他供應(yīng)商,UVISEL Plus相位調(diào)制橢偏儀系統(tǒng)的可升級(jí)性能將更好的滿足您未來的應(yīng)用需求(190-2100nm)，校準(zhǔn)僅需幾分鐘。

簡單

AutoSoft軟件界面以工作流程直觀為特點(diǎn)，使得數(shù)據(jù)采集分析更加簡便，易于非專業(yè)人員上手操作。

快速

UVISEL Plus相位調(diào)制橢偏儀集成了FastAcq快速采集技術(shù)，可在3分鐘以內(nèi)實(shí)現(xiàn)高分辨的樣品(190-2100nm)，校準(zhǔn)僅需幾分鐘。

HORIBA UVISEL Plus 橢圓偏振光譜儀產(chǎn)品測量原理：

HORIBA UVISEL Plus 橢偏儀是利用薄膜的光學(xué)特性進(jìn)行膜厚測量的非接觸測量方法。基于偏振光反射或透射時(shí)的狀態(tài)變化來測量薄膜的厚度和折射率。當(dāng)偏振光照射到薄膜表面時(shí)，反射光或透射光的偏振狀態(tài)會(huì)發(fā)生變化，這種變化依賴于薄膜的厚度、折射率以及入射光的偏振狀態(tài)和角度。通過分析這些變化，可以準(zhǔn)確地推導(dǎo)出薄膜的厚度。

HORIBA UVISEL Plus 橢圓偏振光譜儀軟件：

AutoSoft軟件提供一鍵式測試分析。附帶即點(diǎn)即用的菜單庫幫您掌控一切橢偏分析。

定制菜單

創(chuàng)建您自己的菜單，進(jìn)行數(shù)據(jù)采集，自動(dòng)mapping和薄膜結(jié)構(gòu)分析，一鍵即可實(shí)現(xiàn)。完備的材料及模型數(shù)據(jù)庫

AutoSoft軟件提供了大量的材料模型便于您對(duì)材料及膜系進(jìn)行描述與設(shè)置。

多值計(jì)算

多值計(jì)算是HORIBA的算法，可快速準(zhǔn)確的找到符合的結(jié)果。多值計(jì)算可以應(yīng)用于膜厚以及其他色散參數(shù)的計(jì)算，能夠減化繁瑣的擬合步驟。

DeltaPsi2為橢偏全部功能服務(wù)

DeltaPsi2軟件提供了從測試到建模分析，輸出報(bào)告，以及自動(dòng)操作的全部功能控制，無需多個(gè)軟件間切換，使日常測試更加便捷。

HORIBA UVISEL Plus 相位調(diào)制型橢圓儀技術(shù)特點(diǎn)：

• 信號(hào)采集過程無移動(dòng)部件

• 光路中無增加元件

• 高頻調(diào)制50kHz

• 測試全范圍的橢偏角，Ψ(0-90，?(0-360)

HORIBA UVISEL Plus 橢圓偏振光譜儀常見應(yīng)用：

HORIBA UVISEL Plus 橢圓偏振光譜儀行業(yè)應(yīng)用：

HORIBA UVISEL Plus 橢圓偏振光譜儀產(chǎn)品參數(shù)：